MXH 단일-축 MEMS 가속도계

매개변수

MXH30HC

MXH10HC

MXH60HC

MXH99HC

MXH02HC

패키지

CLCC48

CLCC48

CLCC48

CLCC48

CLCC48

중심선

Y

Y

Y

Y

Y

범위(g)

30

10

60

100

2

스케일 비선형성(ppm)

<300ppm

<500ppm

<500ppm

<500ppm

<100ppm

대역폭 @3dB(Hz)

>140

>140

>150

>150

>10

BW @90도 위상(Hz)

>105

>105

>85

/

지연(밀리초)

<2.5

<2.5

<3

<3

<50

2차-차수 NL(μg/g²)

<10

<15

<10

<5

<10

소음(μg/√Hz @1hz)

<6

<4

<30

<40

<3

역치(μg)

<5

<3

<30

<40

<2

분해능(LSB/ug)

60

200

<±1

<±1

100

팩토리 바이어스, RT(mg)

<±1

<±1

<±0.5

<±0.5

<±1

공장 바이어스 온도 히스테리시스(mg, 1도/분, -40 ~ +85도 )도)

<0.15

<0.1

<0.2

<0.3

<0.2

사후-Comp Bias 잔류량(mg)

<±0.1

<±0.05

<±0.15

<±0.2

<±0.1

바이어스 안정성, 평균 1초 (으)

<6

<4.5

<30

<40

<3

바이어스 안정성, 평균 10초 (으)

<2

<1.5

<10

<15

<1

바이어스 안정성, Allan(ug)

<1

<0.75

<3

<5

<0.5

전원-반복 시., 1σ(ug)

<6

<4

<10

<15

<3

공장 규모(LSB/g)

60000000

200000000

20000000

20000000

100000000

스케일 온도 계수(ppm/도)

<30

<30

<40

<40

<30

스케일 포스트-성분 잔차(ppm)

<50

<50

<100

<100

<100

시작-가동 시간(ms)

<300

<300

<500

<500

<300

데이터 업데이트 속도(Hz)

>50K

>50K

>10K

/

>49.5K

권장 샘플링 속도(Hz)

2K 이상

2K 이상

/

49.5K

0.5K 이상

충격, 전력 공급(2ms 반-사인, 재현율 없음)

300

100

300

500

100

충격, 무전원(2ms 반-사인, 재현성 없음)

300

100

300

500

100

진동(g)

6

3

18

/

3

작동 온도(도)

-40~+85

-40~+85

-40~+85

-50~+85

-10~+125

공급 전압(V)

5±0.25

5±0.25

5±0.25

5±0.25

5±0.25

전류(mA)

<30

<30

<30

<30

<25

통신 인터페이스

SPI

SPI

SPI

SPI

SPI